アルミナセラミック真空プレート

アルミナ製真空チャック（Al₂O₃真空チャック）

基本的な紹介

アルミナ製真空チャックは、高純度酸化アルミニウム（Al₂O₃）セラミックで作られた高精度真空クランプ治具です。均一な多孔質構造または微細な真空チャネルを利用して安定した負圧を発生させ、ウェーハ、ガラス、フィルムなどの薄くて壊れやすいワークピースを機械的ストレスなく確実に保持します。

コア材料と特性

・材質：超高純度99％酸化アルミニウムセラミック（多孔質または緻密）

・機械的特性：高硬度、耐擦傷性、低変形性、優れた剛性

・熱特性：高い耐熱性、優れた熱伝導性、高温プロセスでの安定性

・化学的特性：優れた耐腐食性、電気絶縁性、汚染なし

・構造：均一な多孔性により、表面全体に均一な真空分布が確保されます。

主な機能

・大気圧環境と高真空環境の両方で動作します

・導体、半導体、絶縁体、多孔質材料を吸着する

・均一な吸着力で、薄いワークピースに反りや局所的な応力が発生しません。

・素早くオン/オフでき、残留電位がなく、埃の付着を防ぎます。

・表面平坦度が高く、超精密加工に適しています。

主な用途

・半導体：ウェハリソグラフィ、エッチング、研磨、およびテスト

・ディスプレイ：大型／超薄型ガラス基板の取り扱い

・太陽光発電：シリコンウェハーの切断と検査

・精密光学：レンズおよび光学部品の加工

製品の種類

・多孔質アルミナチャック：穏やかで均一な吸着を実現する微細多孔質構造

・黒色アルミナチャック：フォトリソグラフィーにおける光の反射を低減します

・高密度アルミナチャック：高剛性で、重荷重での精密クランプが可能

宜興神興テクノロジー有限公司

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チーム：シリ・シェンシン・セラミック