アルミナ製真空チャックは、高純度酸化アルミニウム(Al₂O₃)セラミックで作られた高精度真空クランプ治具です。均一な多孔質構造または微細な真空チャネルを利用して安定した負圧を発生させ、ウェーハ、ガラス、フィルムなどの薄くて壊れやすいワークピースを機械的ストレスなく確実に保持します。コア材料と特性 ● 材質:超高純度99%Al₂O₃アルミナセラミック(多孔質または緻密) ●機械的特性:高硬度、耐擦傷性、低変形性、優れた剛性 ●熱特性:高い耐熱性、優れた熱伝導性、高温プロセスでの安定性 ● 化学的特性:優れた耐腐食性、電気絶縁性、汚染なし ●構造:均一な多孔性により、表面全体に均一な真空分布が確保されます。
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